光・電子融合技術

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タイトル別名
  • Photonic-electronic convergence
  • 光・電子融合技術--光素子・回路とSi LSIのモノリシック集積に向けて
  • ヒカリ デンシ ユウゴウ ギジュツ ヒカリ ソシ カイロ ト Si LSI ノ モノリシック シュウセキ ニ ムケテ
  • −Toward the monolithic integration of photonic devices, circuits and Si LSIs−
  • −光素子・回路とSi LSIのモノリシック集積に向けて−

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説明

<p>光技術と電子技術を融合する技術は，両技術が高度化するにつれて着実な進展をみせている．III-V族化合物半導体の発光素子は半導体レーザーを中心にして大きく進展し，Si基板上に微小な光回路を構築するための研究もSiフォトニクスとして進展している．一方，Si LSIは微細化だけでなく，機能を高めるために新たな材料を取り入れる動向にある．これらを将来統合することを背景にして，Si基板上に光素子・回路をハイブリッド集積する技術とSi LSIに発光素子をモノリシック集積する技術を中心にして，最近の研究開発状況を概観する．</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 78 (5), 405-415, 2009-05-10

    公益社団法人 応用物理学会

参考文献 (74)*注記

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