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- MIDOH Yoshihiro
- 大阪大学
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- NAKAMAE Koji
- 大阪大学
Bibliographic Information
- Other Title
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- 深層学習を用いた画像解析・異常検知に関する一考察
- シンソウ ガクシュウ オ モチイタ ガゾウ カイセキ ・ イジョウ ケンチ ニ カンスル イチ コウサツ
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Abstract
近年あらゆる分野において機械学習,特に深層学習の導入が進んでいる.本稿では,筆者がこれまで に実施してきた SEM 画像を用いた半導体デバイスの形状計測・欠陥検査への深層学習の応用事例を紹 介する.ネットワーク構成やパラメータのみならず,ウェーブレット変換等の他の技術と深層学習を結 合することで性能の改善が見られることを示す.また,画像解析や異常検知に関する最新の研究事例の 一部を紹介する.
Journal
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- The Journal of Reliability Engineering Association of Japan
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The Journal of Reliability Engineering Association of Japan 40 (2), 81-86, 2018
Reliability Engineering Association of Japan
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390845702296234624
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- NII Article ID
- 130007724411
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- NII Book ID
- AN10540883
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- ISSN
- 24242543
- 09192697
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- NDL BIB ID
- 028972372
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed