誘電関数データベースを目指した、高エネルギー分解能REELS装置を用いたFe酸化物薄膜の可視光から超軟X線帯の評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Evaluation of Fe based oxides by using high energy resolution REELS for dielectric function database between visible light and ultra-soft X-ray region
説明
<p>誘電関数データベース構築のため、高エネルギー分解能REELS装置を用いて、各種材料の可視光域から軟X線領域までの誘電関数の決定を行っている。本講演では、反応性スパッタリング法により作成されたαFe2O3及びFe3O4エピタキシャル薄膜に対し、角度分解測定—因子分析法を用いて誘電関数を決定し、これから先の物質におけるIMFPを計算したのでこれを報告する。</p>
収録刊行物
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- 日本表面真空学会学術講演会要旨集
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日本表面真空学会学術講演会要旨集 2019 (0), 2Hp12-, 2019
公益社団法人 日本表面真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390845702305860608
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- NII論文ID
- 130007737680
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- ISSN
- 24348589
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可