超高感度スピン歪検知素子およびスピンMEMSマイクロフォンの開発に関するレビュー

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  • An Ultra-sensitive Spintronic Strain-gauge Sensor and a Spin-MEMS Microphone
  • チョウコウカンド スピン ワイ ケンチ ソシ オヨビ スピン MEMS マイクロフォン ノ カイハツ ニ カンスル レビュー

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抄録

<p>This review provides the spintronic strain-gauge sensor (Spin-SGS) based on a magnetic tunnel junction (MTJ) with a high gauge factor in excess of 5000, which was realized by adopting a novel amorphous Fe-B-based sensing layer with high magnetostriction and low coercivity in a high magnetoresistance Mg-O barrier MTJ. This review also provides a demonstration of novel “Spintronic MEMS (Spin-MEMS) microphone,” in which a series of Spin-SGSs are integrated onto a bulk micromachined diaphragm. The Spin-MEMS microphone exhibits a signal-to-noise ratio (SNR) of 57 dB(A) due to the high strain sensitivity of the Spin-SGSs.</p>

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