スクリーンオフセット印刷による微細配線の形成

DOI

書誌事項

タイトル別名
  • Fabrication of fine conductive patterns by screen-offset printing

抄録

電気電子デバイスにおける配線形成手法の1つとして、導電性ペーストをスクリーン印刷する手法がある。しかし、ペーストのダレが生じてしまい、配線を微細化できないという問題が顕著となってきた。この課題を解決できる手法として、ブランケット上にパターンをスクリーン印刷し、続いてそのパターンをブランケットから対象物に転写する「スクリーン・オフセット印刷法」を開発した。本手法によれば、市販の製版とAgペーストを用い、かつ手刷りという条件でも、L/S=50μm/50μmの配線を容易に印刷できる。当日は、本手法の詳細について説明する。

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390845712979802752
  • NII論文ID
    130007429459
  • DOI
    10.11486/ejisso.27.0_117
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

問題の指摘

ページトップへ