Fabrication of fine conductive patterns by screen-offset printing

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  • スクリーンオフセット印刷による微細配線の形成

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電気電子デバイスにおける配線形成手法の1つとして、導電性ペーストをスクリーン印刷する手法がある。しかし、ペーストのダレが生じてしまい、配線を微細化できないという問題が顕著となってきた。この課題を解決できる手法として、ブランケット上にパターンをスクリーン印刷し、続いてそのパターンをブランケットから対象物に転写する「スクリーン・オフセット印刷法」を開発した。本手法によれば、市販の製版とAgペーストを用い、かつ手刷りという条件でも、L/S=50μm/50μmの配線を容易に印刷できる。当日は、本手法の詳細について説明する。

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  • CRID
    1390845712979802752
  • NII Article ID
    130007429459
  • DOI
    10.11486/ejisso.27.0_117
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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