真空装置のメンテナンス　リークテストの解説

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タイトル別名
  • Review of Leak Test for Vacuum Equipment Maintenance
  • シンクウ ソウチ ノ メンテナンス リークテスト ノ カイセツ

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説明

<p>The helium leak test method that is the highest sensitivity among various types of leak tests is reviewed on the application for a vacuum equipment maintenance. The notes and important things on each test condition are explained from the application example.</p>

収録刊行物

  • 表面と真空

    表面と真空 61 (8), 505-509, 2018-08-10

    公益社団法人 日本表面真空学会

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