大気圧プラズマ援用クーラントシステムの開発
書誌事項
- タイトル別名
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- ナノ多結晶ダイヤモンド工具によるCVD-SiCの高品位加工への適用
抄録
<p>本研究では,大気圧低温プラズマジェットを加工点にピンポイントで照射することにより,加工中のクーラント効果を促進させ,ナノ多結晶ダイヤモンド工具の加工性能を向上させることを試みた.窒素ガスベースの大気圧プラズマ援用クーラントを使用し,ナノ多結晶ダイヤモンドボールエンドミルによりCVD-SiCのミーリング加工を行った結果,加工面のチッピングを抑制することが確認された.</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2018S (0), 357-358, 2018-03-01
公益社団法人 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390845712994987008
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- NII論文ID
- 130007480330
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可