拡散接合技術と精密中空デバイスの開発

書誌事項

タイトル別名
  • Diffusion Bonding and Development of Fine Devices
  • 拡散接合技術と精密中空デバイスの開発--基礎実験から接合装置・デバイスの製造まで
  • カクサン セツゴウ ギジュツ ト セイミツ チュウクウ デバイス ノ カイハツ キソ ジッケン カラ セツゴウ ソウチ デバイス ノ セイゾウ マデ
  • ―基礎実験から接合装置・デバイスの製造まで―
  • ―From Fundamental Experience to Fabrication of Bonding Machine and Devices―

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収録刊行物

  • 塑性と加工

    塑性と加工 47 (550), 1100-1103, 2006

    一般社団法人 日本塑性加工学会

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