四重極質量分析計の基本特性の定義と評価方法の国際標準化（2）基本特性を示すパラメータの定義とその評価法

DOI Web Site Web Site 参考文献6件
  • 吉田 肇
    国立研究開発法人 産業技術総合研究所 計量標準総合センター 工学計測標準研究部門 圧力真空標準研究グループ

書誌事項

タイトル別名
  • International Standardization on the Definition and Characterization of Quadrupole Mass Spectrometer (2) Definition of Parameters to Specify the Characteristics and the Evaluation Method
  • シジュウキョク シツリョウ ブンセキケイ ノ キホン トクセイ ノ テイギ ト ヒョウカ ホウホウ ノ コクサイ ヒョウジュンカ(2)キホン トクセイ オ シメス パラメータ ノ テイギ ト ソノ ヒョウカホウ

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説明

<p>Two ISO standards related to quadrupole mass spectrometer (QMS) are introduced ; one is ISO 14291:2012 Definitions and specifications for quadrupole mass spectrometer and the other is ISO/TS 20175:2018 Characterization of quadrupole mass spectrometers for partial pressure measurement. This paper consits of two parts. This second part includes the definition of parameters to specify QMSs such as minimum detectable partial pressure, minimum detectable concentration, dynamic range, interference effect, mass resolution, and so on. The methods to evaluate these parameters is also introduced.</p>

収録刊行物

  • 表面と真空

    表面と真空 62 (5), 282-287, 2019-05-10

    公益社団法人 日本表面真空学会

参考文献 (6)*注記

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