環状分割検出器を用いたホローコーンSTEMによる位相再生

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  • 石田 高史
    名古屋大学未来材料・システム研究所
  • 川﨑 忠寛
    名古屋大学未来材料・システム研究所 一般財団法人ファインセラミックセンターナノ構造研究所
  • 丹司 敬義
    名古屋大学未来材料・システム研究所
  • 生田 孝
    大阪電気通信大学名誉教授

書誌事項

タイトル別名
  • Phase-contrast Imaging by Annularly Arrayed Detectors in Hollow-cone Illumination STEM
  • カンジョウ ブンカツ ケンシュツキ オ モチイタ ホローコーン STEM ニ ヨル イソウ サイセイ

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抄録

<p>走査透過電子顕微鏡において,試料を透過した電子波の位相変化を回復する手法の1つとして円環絞りと環状アレイ検出器を用いた位相コントラスト環状明視野法を開発した.本手法は,円環絞りを用いてホローコーンビームを作ることにより分解能を維持したまま焦点深度を拡大することができるため,運動学的な近似が成立する範囲で厚い試料の定量的な投影ポテンシャルの再生に期待が持てる.本稿では,本手法で用いる電子光学系及び位相再生のプロセスの概要,実際に開発した装置,結晶性試料を用いた原理検証結果及びイメージシミュレーションを用いた本手法の応用可能性についての検討結果について紹介する.</p>

収録刊行物

  • 顕微鏡

    顕微鏡 52 (1), 13-18, 2017-04-30

    公益社団法人 日本顕微鏡学会

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