電子デバイス評価のための電子顕微鏡複合化原子間力顕微鏡システムの開発

DOI
  • 潤間 威史
    静岡大　創造科学技術大学院　自然科学系教育部　光・ナノ物質機能専攻
  • 佐藤 宣夫
    千葉工大　工学研究科 電気電子情報工学専攻
  • 山本 秀和
    千葉工大　工学研究科 電気電子情報工学専攻
  • 中澤 謙太
    静岡大　工学部　機械工学科
  • 岩田 太
    静岡大　創造科学技術大学院　自然科学系教育部　光・ナノ物質機能専攻

抄録

<p>我々は電子デバイスを評価する原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope: AFM)の開発に取り組んでいる．微細構造を有するデバイスの特定箇所を評価する上でカンチレバー探針の位置決めは重要である．しかしながら，一般的なAFMの光学顕微鏡による観察では精度の高い位置決めは困難である．そこで本研究では電子顕微鏡により高精度に探針の位置決めを可能にしたAFMを開発した．本装置はケルビンプローブ力顕微鏡も備えており，表面電位像も取得可能である．</p>

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390846609806562432
  • NII論文ID
    130007800927
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2019a.0_408
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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