多変量解析を利用したTOF-SIMSイメージデータ フュージョンとスパースモデリングおよび機械学習によるTOF-SIMSスペクトル解析

DOI Web Site Web Site 被引用文献2件 参考文献17件
  • 石倉 航
    成蹊大学理工学部 物質生命理工学科
  • 高橋 一真
    成蹊大学理工学部 物質生命理工学科
  • 山㟁 崇之
    成蹊大学理工学部 物質生命理工学科
  • 青木 弾
    名古屋大学大学院 生命農学研究科
  • 福島 和彦
    名古屋大学大学院 生命農学研究科
  • 志賀 元紀
    岐阜大学 工学部 科学技術振興機構 さきがけ 理化学研究所 革新知能統合研究センター
  • 青柳 里果
    成蹊大学理工学部 物質生命理工学科

書誌事項

タイトル別名
  • TOF-SIMS Image Data Fusion by Multivariate Analysis and TOF-SIMS Spectrum Analysis by Sparse Modeling and Machine Learning
  • タヘンリョウ カイセキ オ リヨウ シタ TOF-SIMS イメージデータフュージョン ト スパースモデリング オヨビ キカイ ガクシュウ ニ ヨル TOF-SIMS スペクトル カイセキ

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抄録

飛行時間形二次イオン質量分析法（Time-of-Flight secondary ion mass spectrometry: TOF-SIMS）は高空間分解能での化学イメージングが可能な手法であり，もっとも優れた化学イメージング法の1つである．しかし，ナノレベルでのより高い空間分解能でのイメージングが要求されているため，より空間分解能の高いSEMデータとイメージフュージョンしたイメージデータを主成分分析することにより，化学情報を保ったままTOF-SIMS本来よりも高い空間分解能で表現した．また，TOF-SIMSスペクトルは解釈が難しい場合が多いため，スパースモデリングと機械学習を応用し，スペクトルの単純化や自動判別を試みた．

収録刊行物

被引用文献 (2)*注記

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参考文献 (17)*注記

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