多変量解析を利用したTOF-SIMSイメージデータ フュージョンとスパースモデリングおよび機械学習によるTOF-SIMSスペクトル解析
書誌事項
- タイトル別名
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- TOF-SIMS Image Data Fusion by Multivariate Analysis and TOF-SIMS Spectrum Analysis by Sparse Modeling and Machine Learning
- タヘンリョウ カイセキ オ リヨウ シタ TOF-SIMS イメージデータフュージョン ト スパースモデリング オヨビ キカイ ガクシュウ ニ ヨル TOF-SIMS スペクトル カイセキ
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抄録
飛行時間形二次イオン質量分析法(Time-of-Flight secondary ion mass spectrometry: TOF-SIMS)は高空間分解能での化学イメージングが可能な手法であり,もっとも優れた化学イメージング法の1つである.しかし,ナノレベルでのより高い空間分解能でのイメージングが要求されているため,より空間分解能の高いSEMデータとイメージフュージョンしたイメージデータを主成分分析することにより,化学情報を保ったままTOF-SIMS本来よりも高い空間分解能で表現した.また,TOF-SIMSスペクトルは解釈が難しい場合が多いため,スパースモデリングと機械学習を応用し,スペクトルの単純化や自動判別を試みた.
収録刊行物
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- Journal of Surface Analysis
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Journal of Surface Analysis 25 (2), 103-114, 2018
一般社団法人 表面分析研究会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390846609810345344
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- NII論文ID
- 130007806258
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- NII書誌ID
- AA11448771
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- ISSN
- 13478400
- 13411756
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- NDL書誌ID
- 029408722
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
- KAKEN
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可