電子顕微鏡の現状と将来展望

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タイトル別名
  • Materials Characterization by Advanced Transmission Electron Microscopy
  • 電子顕微鏡の現状と将来展望(第3回・最終回)先進原子分解能電子顕微鏡による材料局所構造解析
  • デンシ ケンビキョウ ノ ゲンジョウ ト ショウライ テンボウ(ダイ3カイ ・ サイシュウカイ)センシン ゲンシ ブンカイノウ デンシ ケンビキョウ ニ ヨル ザイリョウ キョクショ コウゾウ カイセキ
  • 第3回/最終回 先進原子分解能電子顕微鏡による材料局所構造解析

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説明

<p>　微小な電子プローブを用いて原子スケールの構造観察を行う走査型透過電子顕微鏡(STEM)は，収差補正技術の確立に伴ってここ10年で大きな進歩を遂げている。現在の世界最高分解能は50pm以下にまで達しており，原子サイズ以下の空間分解能が実現している。一方，最近ではSTEMの検出器開発にも大きな進展があり，従来は難しかった軽元素原子観察，原子スケール組成分析，超高分解能電磁場観察などが可能になりはじめている。本稿では，原子分解能STEMの現状と将来展望に関して報告する。</p>

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