書誌事項
- タイトル別名
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- Room Temperature Bonding of Wafers and Metals using Au Films in Air
- ホウネツ ヨウキンゾク バルク ザイリョウ ト デンシ デバイスヨウ ウエハ ノ タイキ ナカビクオン セツゴウ ギジュツ ノ カイハツ
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収録刊行物
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- マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
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マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集 23 (0), 143-146, 2013
一般社団法人 エレクトロニクス実装学会