Study on novel nano fine particles reacted with fullerene for hard to process material

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  • 難加工研磨におけるフラーレン結合型機能性ナノ微粒子に関する研究

Abstract

<p>本研究では粒径が数十nm〜百nm程度の粒子径を持つダイヤモンドなどコア粒子上にフラーレン分子を吸着させ，紫外線照射のほかに，マイクロ波合成法を併用させることでフラーレンを新規炭素同素体へ物質変換を行い，研磨微粒子上に安定化した数nmレベルの機能性炭素層を形成する．ここでは形成された新規炭素同素体の分類を行うとともに難加工基板に対する研磨性能の影響について評価する．</p>

Journal

Keywords

Details

  • CRID
    1390848647555167872
  • NII Article ID
    130007896718
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2020s.0_486
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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