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書誌事項
- タイトル別名
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- Development of <i>Spatiotemporal</i> Measurement and Analysis Techniques in X-ray Photoelectron Spectroscopy ∼From NAP-HARPES to 4D-XPS∼
- Xセン コウデンシ ブンコウ ニ オケル ジクウカン ケイソク/カイセキ ギジュツ ノ カイハツ : NAP-HARPES カラ 4D-XPS エ
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抄録
<p>We have developed spatiotemporal measurement and analysis techniques in x-ray photoelectron spectroscopy. To begin with, time-division depth profiles of gate stacked film interfaces have been achieved by NAP-HARPES (Near Ambient Pressure Hard x-ray Angle-Resolved PhotoEmission Spectroscopy) data. We then have promoted our methods to quickly perform peak fittings and depth profiling from time-division ARPES data, which enables us to realize 4D-XPS analysis. It is found that the traditional maximum entropy method (MEM) combined with Jackknife averaging of sparse modeling in NAP-HARPES data is effective to perform dynamic measurement of depth profiles with high precision.</p>
収録刊行物
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- 表面と真空
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表面と真空 64 (2), 86-91, 2021-02-10
公益社団法人 日本表面真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390850092195646464
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- NII論文ID
- 130007985448
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- NII書誌ID
- AA12808657
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- ISSN
- 24335843
- 24335835
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- NDL書誌ID
- 031304405
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
- KAKEN
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可