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- 大越 昌幸
- 防衛大学校 電気情報学群電気電子工学科
書誌事項
- タイトル別名
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- Periodic Cylindrical Structure of Micro-Swelling Silicone Rubber Fabricated by ArF Excimer Laser
- ArF エキシマレーザ ニ ヨリ サクセイ サレタ シリコーンゴム ジョウ ノ シュウキテキ エンチュウジョウ ビサイ リュウキ コウゾウ
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抄録
<p>Cylindrical structure of micro-swelling silicone rubber of approximately 1 µm diameter and 1.5 to 2 µm height was fabricated by the 193-nm ArF excimer laser-induced photodissociation of Si-O bonds of silicone rubber. To be periodically, single layer of silica glass microspheres was aligned on aluminum-coated silicone rubber during laser irradiation. The silicone rubber underneath each microsphere photochemically swelled, after laser-ablating aluminum to limit a diameter of the swelling. The aluminum also adjusted a focal point to the surface of silicone rubber to form a hole approximately 0.5 μm diameter centered at each the swelled silicone rubber. A purging O2 molecules in the laser beam path by N2 gas and lowering the laser pulse repetition rate were effective for fabricating the regular cylindrical structure. The regular cylindrical structure of micro-swelling silicone rubber showed superhydrophobicity.</p>
収録刊行物
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- 電気学会論文誌C(電子・情報・システム部門誌)
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電気学会論文誌C(電子・情報・システム部門誌) 141 (7), 771-775, 2021-07-01
一般社団法人 電気学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390851497212518656
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- NII論文ID
- 130008060309
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- NII書誌ID
- AN10065950
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- ISSN
- 13488155
- 03854221
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- NDL書誌ID
- 031608721
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
- KAKEN
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可