アクリル定盤と水によるガラス表面の平坦化

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  • 平坦性と除去レート向上の試み

抄録

<p>これまでの研究で、様々な有機材料の中でアクリル粒子を利用することで、ガラス表面を加工できることが明らかになっている。本研究では、アクリル粒子ではなくアクリル定盤によるガラスの平坦化を試みた。加工液は水のみである。これまでガラス表面の平坦化現象を確認しており、AFMによる500nmの走査エリアの測定結果はRMS0.07nmに達した。本発表では、アクリル定盤によるガラス平坦化の結果及び除去レート向上の試みについて報告する。</p>

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390852204638911616
  • NII論文ID
    130008083991
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2021s.0_312
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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