特集記事：　EUV光源用プラズマのための協同的トムソン散乱計測システム構築

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EUVリソグラフィーは実用化に向けて，光源出力改善が強く望まれている．プラズマを光源として使用する以上，それを最適化するためには、電子密度（ne）や電子温度（Te）といった基礎パラメータを制御し，最適なイオン価数（Z）を達成することが重要となるが，一般に微小（< 1 mm），短命（< 100 ns）な光源プラズマのne，Te，Zを十分な時間空間分解能で計測するには困難がともなう。筆者らは協同トムソン散乱で得られるイオン項スペクトルを，独自の分光器を作製することで計測し，EUV光源用スズプラズマ内のne，Te，Zやドリフト速度の空間分布一括計測が可能であることを示した．

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1390852870557543424
  • NII Article ID
    130008112487
  • DOI
    10.32157/jsrc.102.0_27
  • ISSN
    21880115
    02866722
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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