SiC結晶の低温液相エピタキシャル成長における成長モード

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  • SiC ケッショウ ノ テイオン エキソウ エピタキシャル セイチョウ ニ オケル セイチョウ モード
  • Growth Modes in Low Temperature Liquid Phase Epitaxy of SiC Crystals

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