パーソナルコンピュータによるESCA測定の自動化

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  • Automization of ESCA measurement with Personal Computer(HP-85)
  • パーソナル コンピュータ ニヨル ESCA ソクテイ ノ ジドウカ

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抄録

type:Article

The improvement of the S/N ratio of the XPS spectrum has been studied by using a micro-computer (HP-85). The D.C. voltage from a programable voltage generator controlled by HP-85 is applied on a double pass CMA for the measurement of the binding energy.The signal from the CMA is read in to HP-85 through a digital voltmeter. Repeating the measurement and the averaging the data in the same spectral region, the S/N ratio is improved drama tically. We can measure the valenc band spectrum of a semiconductor which has not been observed without this system. This system also enables us to analyze the data easily.

マイクロ・コンピュータ（HP-85）を使用してXPSスペクトルのS/N比の改善を行った。束縛エネルギーの測定の際，HP-85に制御されたプログラマズル電圧発生器から，ダブルパスのCMAに直流電圧が印加される。CMAからの信号はデジタル電圧計を介してHP-85に読み込まれる。同じスペクトル範囲の測定をくり返し，そのデータを平均化することによってS/N比は大幅に改善される。我々は，以前測定のできなかった半導体の価電帯スペクトルをこのシステムを使用して測定することができた。又このシステムの使用によりデータの解析も容易になる。

identifier:富山大学工学部紀要，34

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