しきい値イオン化質量分析法による値流励起CF4プラズマ中のCFx(x=1〜3)ラジカル密度測定

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  • Measurement of CFx(x=1〜3) Radical Densities in a DC CF4 Plasma by Threshold Ionization Mass Spectrometry
  • しきい値イオン化質量分析法による直流励起CF4プラズマ中のCFx(x=1～3)ラジカル密度測定
  • シキイチ イオンカ シツリョウ ブンセキホウ ニヨル チョクリュウ レイキ C

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