機械学習を用いた高速成膜プロセスの開発とエネルギー薄膜探索

  • 大久保 勇男
    国立研究開発法人物質・材料研究機構 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点
  • 後藤 真宏
    国立研究開発法人物質・材料研究機構 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点

書誌事項

タイトル別名
  • Efficient materials development utilizing the combination of thin-film growth techniques and machine learning approaches toward energy applications
  • キカイ ガクシュウ オ モチイタ コウソクセイマク プロセス ノ カイハツ ト エネルギー ハクマク タンサク

この論文をさがす

抄録

<p>高効率化を目的とした,機械学習を取り入れた実験研究手法の開発が盛んに行われている.中でも薄膜作製プロセスは,基礎研究のみならず種々の産業分野で利用されている,汎用性の高い物質・材料合成手法である.ここでは,時間と労力が必要とされる薄膜作製プロセスを用いた材料開発研究を高効率化する目的で,機械学習を取り入れた2つの研究例を紹介する.前半では,機械学習による薄膜作製パラメータ推定プロセスを導入した「closed-loop薄膜作製手法」について紹介し,薄膜作製条件最適化実験の実験回数低減化について報告する.後半では,低熱伝導材料の開発に成功した,機械学習を用いた候補材料の予測とコンビナトリアル薄膜作製手法を組み合わせた高効率材料開発について紹介し,低炭素社会で有望視されている熱電変換材料の材料探索研究への応用について展望する.</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 91 (4), 224-228, 2022-04-01

    公益社団法人 応用物理学会

関連プロジェクト

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ