高分解能ラザフォード後方散乱分光法によるガラスおよびイオン液体の表面分析

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書誌事項

タイトル別名
  • Surface analysis of glass and ionic liquids with high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy

抄録

<p>高分解能ラザフォード後方散乱分光法（HR-RBS）は試料表面近傍の元素組成を高い定量性で測定できる分析法である．非破壊でサブナノメートルの高い深さ分解能で深さ方向分析が可能である．本稿では，筆者の研究室で開発したHR-RBS装置の概要を略述し，HR-RBSの特徴を解説する．またHR-RBSを用いて，従来のイオン散乱分光で分析が難しいとされていた絶縁物，液体（イオン液体）を分析した最近の結果を紹介する．</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 91 (5), 260-265, 2022-05-01

    公益社団法人 応用物理学会

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390854882576497280
  • DOI
    10.11470/oubutsu.91.5_260
  • ISSN
    21882290
    03698009
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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