高温アニールしたスパッタ成膜AlNテンプレート上へのDUV-LED作製(2)
書誌事項
- タイトル別名
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- Fabrication of DUV-LED on High-Temperature Annealed Sputter-Deposited AlN Template (II)
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.2 (0), 2040-2040, 2020-08-26
公益社団法人 応用物理学会