Si 基板上エピタキシャル(K, Na)NbO<sub>3</sub>薄膜の結晶構造および圧電特性の組成依存性
書誌事項
- タイトル別名
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- Composition dependence of crystal structure and piezoelectric properties of epitaxial (K, Na)NbO<sub>3</sub> thin films grown on Si substrates
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.2 (0), 889-889, 2020-08-26
公益社団法人 応用物理学会