アニール処理されたスパッタAlNテンプレート上AlGaN多重量子井戸における内部量子効率の<i>c</i>面サファイア<i>m</i>軸オフ角依存性
書誌事項
- タイトル別名
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- Dependence of internal quantum efficiency on miscut angle toward <i>m</i>-axis of <i>c</i>-plane sapphire in AlGaN multiple quantum wells on annealed sputtered AlN templates
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 (0), 3115-3115, 2020-02-28
公益社団法人 応用物理学会