Metal-Insulator-Metalメタマテリアル構造を応用した潤滑膜厚計測法の検討
書誌事項
- タイトル別名
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- Study on Lubrication Film Thickness Measurement Method Applying Metal-Insulator-Metal Metamaterial Structure
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 1043-1043, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会