Si基板上エピタキシャル(K, Na)NbO<sub>3</sub>薄膜の圧電特性
書誌事項
- タイトル別名
-
- Piezoelectric properties of epitaxial (K, Na)NbO<sub>3</sub> thin films grown on Si substrates
収録刊行物
-
- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
-
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 1184-1184, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会