ステルスダイシングによる微細加工技術の変遷と展望

DOI
  • 久野 耕司
    浜松ホトニクス株式会社 電子管事業部第6製造部

書誌事項

タイトル別名
  • The History and Future of Precise Laser Processing by Stealth Dicing
  • -High Throughput Laser Processing Machine which can Operate for 24 Hours-
  • －24 時間稼働できる高スループットレーザ加工装置－

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390855533657701888
  • DOI
    10.34592/jlps.26.2_26
  • ISSN
    24359181
    18816797
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC

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