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スパッタリング法を用いたHAp 結晶の配向制御
DOI
小田 智也
同志社大
中村 司
同志社大
高柳 真司
同志社大
松川 真美
同志社大
書誌事項
タイトル別名
Control of Hydroxyapatite crystal orientation by sputtering
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 1853-1853, 2019-09-04
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
20a-PA4-3
プラズマエレクトロニクス
プラズマ成膜・エッチング・表面処理
CVD・PVD・スパッタリング
スパッタリング
ハイドロキシアパタイト
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390855765222144640
DOI
10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_1853
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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