表面プラズモン共鳴を用いた新概念リソグラフィに関する研究
書誌事項
- タイトル別名
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- 複雑多光束干渉SPPパターンの生成検討実験
抄録
<p>近年微細構造の加工や応用に関する研究が益々盛んになっているが，微細かつ高コントラストな加工を実現する手法として表面プラズモン共鳴を利用した加工手法が注目を集めている．本研究は，そのような表面プラズモン共鳴を用いた加工における現象の解明とその制御性向上を目的としている．本報では，表面プラズモン共鳴を用いた新たな加工コンセプトを提案するとともに，提案手法の要素技術を実験的に検討した．</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2022S (0), 51-52, 2022-03-02
公益社団法人 精密工学会