積層造形Alloy718の楕円振動鏡面切削加工による介在物および空孔の三次元計測
抄録
<p>難削材であるNi基超合金Alloy718の積層造形中の介在物や空孔等の内部欠陥を三次元計測するために，単結晶ダイヤモンド工具を楕円振動させる超精密切削法を開発し，表面粗さRa 7.8 nmの鏡面加工を達成した．被加工面を光学顕微鏡で逐次撮影し，内部欠陥の分布と三次元形状を得ることが出来た．さらに電子顕微鏡によるエネルギー分散型X線分析観察を組み合わせることで酸化物系介在物と空孔の存在を確認した．</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2022S (0), 461-462, 2022-03-02
公益社団法人 精密工学会