高速原子間力顕微鏡を用いた銀ナノワイヤーの再配置操作とプラズモン導波路の評価
抄録
<p>我々は高速原子間力顕微鏡によって,基板上のナノ材料を観察しながら所望の位置まで移動・位置決めするマニピュレータを開発している.本研究ではナノスケールでのマニピュレーション操作により,移動および切断して再配置した銀ナノワイヤーを用いて,実際にプラズモン導波路としての評価を行ったので報告する.</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2022S (0), 614-615, 2022-03-02
公益社団法人 精密工学会