直線集束ビーム超音波材料解析システムによる圧電性Ta<sub>2</sub>O<sub>5</sub>薄膜の評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Evaluation of piezoelectric Ta<sub>2</sub>O<sub>5</sub> thin film by the line-focus-beam ultrasonic material characterization system
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.1 (0), 551-551, 2018-03-05
公益社団法人 応用物理学会