Atomic layer etching for 10 nm node and beyond
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- Nojiri Kazuo
- Lam Research
Bibliographic Information
- Other Title
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- 10 nmノード以降対応のアトミックレイヤーエッチング
Journal
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- JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
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JSAP Annual Meetings Extended Abstracts 2017.2 (0), 113-113, 2017-08-25
The Japan Society of Applied Physics
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390856893061877248
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- ISSN
- 24367613
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC