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HMDS導入CVD樟脳カーボン薄膜のXPS分析
DOI
羽坂 奨馬
芝浦工大
西村 謙汰
芝浦工大
渋谷 翼
芝浦工大
石川 博康
芝浦工大
SIT GI研究センター
書誌事項
タイトル別名
XPS study of HMDS-introduced CVD camphoric carbon thin films
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 1330-1330, 2017-08-25
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
7p-A412-11
薄膜・表面
カーボン系薄膜
非晶質カーボン薄膜
アモルファスカーボン
樟脳
ヘキサメチルジシラザン
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390856893062229248
DOI
10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_1330
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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