HMDS導入CVD樟脳カーボン薄膜のXPS分析

DOI

羽坂奨馬

芝浦工大
西村謙汰

芝浦工大
渋谷翼

芝浦工大
石川博康

芝浦工大 SIT GI研究センター

書誌事項

タイトル別名

XPS study of HMDS-introduced CVD camphoric carbon thin films

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 1330-1330, 2017-08-25

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390856893062229248
DOI

10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_1330
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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