CuCl含有イオン液体EMIM-DCAへの電子線照射によるCu薄膜の形成
書誌事項
- タイトル別名
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- Cu Thin Film Formation by Electron Beam Irradiation on Ionic Liquid EMIM-DCA Solution with CuCl
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 1654-1654, 2017-08-25
公益社団法人 応用物理学会