GaN MOVPEにおける気相中および基板上での反応プロセス解明
書誌事項
- タイトル別名
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- Analysis of the Reaction Process in the Vapor Phase and on the Substrate during GaN MOVPE
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 3408-3408, 2017-08-25
公益社団法人 応用物理学会