単結晶ニオブ酸リチウムを用いた慣性センサ(<特集>超精密加工の最前線)

詳細情報 詳細情報について

• CRID

  1390856970591544832

• DOI

  10.1299/jsmemag.125.1247_23

• ISSN

  24242675

• Web Site

  https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmemag/125/1247/125_23/_pdf

• 本文言語コード

  ja

• データソース種別

  • JaLC
  • Crossref