MOCVD法によるC面サファイア、YSZ(111)及びMgO(111)基板上CuO薄膜の成長

DOI

藤原一樹

芝浦工大
田口健太朗

芝浦工大
酒井駿吾

芝浦工大
石川博康

芝浦工大 SIT研究センター

書誌事項

タイトル別名

MOCVD growth of CuO thin films on C-sapphire, YSZ (111) and MgO (111) substrates

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.1 (0), 3945-3945, 2017-03-01

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390857136568865920
DOI

10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_3945
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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