単結晶c-BN薄膜の内部応力に及ぼすイオン照射の影響

DOI

平間一行

NTT物性研
谷保芳孝

NTT物性研
狩元慎一

NTT物性研
山本秀樹

NTT物性研
熊倉一英

NTT物性研

書誌事項

タイトル別名

Ion irradiation effect on internal stress in single-crystal c-BN thin films

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.2 (0), 3143-3143, 2015-08-31

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390858773326222208
DOI

10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_3143
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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