格子整合系InAlN/AlGaN 2DEGヘテロ構造のMOCVD成長と評価
書誌事項
- タイトル別名
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- MOCVD growth and characterization of nearly-lattice-matched InAlN/AlGaN 2DEG heterostructures
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.2 (0), 3948-3948, 2014-09-01
公益社団法人 応用物理学会