Pre-sputter Technology for GaN Acceptor Doping by Mg-ion Implantation
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- 孫 政
- Department of Electrical Engineering and Computer Science, Nagoya Univ.
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- 永山 勉
- Nissin Ion Equipment Co., Ltd.
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- 渡邊 哲也
- Nissin Electric Co., Ltd.
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- 本田 善央
- Department of Electrical Engineering and Computer Science, Nagoya Univ.
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- 天野 浩
- Department of Electrical Engineering and Computer Science, Nagoya Univ. Akasaki Research Center, Nagoya Univ.
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.1 (0), 3349-3349, 2014-03-03
公益社団法人 応用物理学会