膜厚数十μmの絶縁性膜試料に対する簡便な全電子収量軟X線吸収測定

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タイトル別名
  • Soft X-Ray Absorption Measurements of Several-Tens-Thick Insulating Films using a Total Electron Yield Method

抄録

<p>絶縁性膜試料を導電性基板に密着させて測定する全電子収量軟X線吸収分光（TEY-XAS）法の適用範囲を拡大することを目指して，膜厚数十μmの紙（薬包紙，コピー用紙，ろ紙），布（ワイプ布），テープ（ポリイミド，スコッチTM 3Mテープ，ポリテトラフルオロエチレンテープ）など絶縁性膜試料のTEY-XASスペクトルを測定した．実験はAdvanced Light Source のBL-6.3.2とNewSUBARUのBL10で行い，C K端～O K端～F K端の試料電流とTEYを測定した．その結果，軟X線照射によりこれらの膜試料には膜厚方向に数pA～数十pAの試料電流が流れ，各吸収端のTEY-XANESを容易に測定できることを明らかにした．</p>

収録刊行物

  • Ｘ線分析の進歩

    Ｘ線分析の進歩 49 (0), 219-230, 2018-03-31

    公益社団法人 日本分析化学会　X線分析研究懇談会

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390859868585179136
  • DOI
    10.57415/xshinpo.49.0_219
  • ISSN
    27583651
    09117806
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用可

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