「光分科内招待講演」光リソグラフィ技術を応用したブレーズド回折格子製作技術の開発

DOI

角田和之

日立製作所ＭＤ事
杉大作

日立製作所ＭＤ事
松井繁

日立ハイテク
江畠佳定

日立ハイテク
渡邉哲也

日立ハイテク
長谷川昇雄

日立ハイテク

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2013.2 (0), 1550-1550, 2013-08-31

公益社団法人応用物理学会

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CRID

1390859989723702272
DOI

10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_1550
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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