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欠陥検査のための空間-時間列変換を用いた超高速撮像技術
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服部 竜己
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下田 勇一
日立ハイテクノロジーズ
石井 晴幸
日立ハイテクノロジーズ
斎藤 佳大
日立ハイテクノロジーズ
中尾 敏之
日立製作所 横浜研究所
渡辺 正浩
日立製作所 横浜研究所
吉武 康裕
日立ハイテクノロジーズ
合田 圭介
東大院理
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2013.2 (0), 1578-1578, 2013-08-31
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
17p-C13-4
光
計測光学
Ultra High-Speed Imaging
ファイバーレーザー
超高速撮像
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390859989723722496
DOI
10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_1578
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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