Ultra-precision machining of carbide molds for glass microcylindrical lens array using nano polycrystalline diamond tools

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  • ナノ多結晶ダイヤモンド工具によるマイクロシリンドリカルレンズアレイガラス成形用超硬金型の超精密切削加工

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<p>本研究ではガラス製マイクロレンズアレイ成形のための超硬合金金型を，ナノ多結晶ダイヤモンド(NPD)工具を用いて製作する手法を提案する．ガラス成形用微粒超硬合金を超硬合金工具を用いた切削により粗加工した後に，NPDによる超精密切削を行い，研磨による最終仕上げを行った．切削工程における工具摩耗と各加工段階における形状誤差ならびに表面性状，ならびに，研磨前後の表面性状と形状誤差を評価した．</p>

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