X線を用いたナノ繊維の構造解析
書誌事項
- タイトル別名
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- Probing a Nano-fiber Structure with X-ray Optics
抄録
さまざまな製造プロセスにおいて、製品を非破壊で内部検査する技術は、製品の品質管理、品質改善、さらには歩留まりの向上を進めるうえで重要である。近年、微細加工技術が急速に発展していることに伴い、ナノメートルサイズの内部構造を広い範囲で高速に検査することが求められている。そこで、本実験では、ナノメートルサイズの微細繊維であるフィブリル(fibril)の束から構成されるとされるシルク繊維を用い、X線回折を利用した従来の内部測定手法で現状の測定速度‧精度を確認し、技術課題を抽出することを目的とする。
収録刊行物
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- SPring-8/SACLA利用研究成果集
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SPring-8/SACLA利用研究成果集 11 (5), 354-356, 2023-10-31
公益財団法人 高輝度光科学研究センター
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390860919505869696
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- ISSN
- 21876886
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可