ノボラック系ポジ型レジストにおける現像温度とリソグラフィ特性との関係

DOI

河野昭彦

金沢工大
齊藤誠二

金沢工大
石黒啓太

金沢工大
関口淳

リソテックジャパン
谷口克人

AZエレクトロニックマテリアルズ
田中初幸

AZエレクトロニックマテリアルズ
堀邊英夫

金沢工大

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.1 (0), 1663-1663, 2012-02-29

公益社団法人応用物理学会

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CRID

1390861074208785792
DOI

10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_1663
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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